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ITO膜层标准

序号

膜层特性

标准范围

测量方法

1

刻蚀时间

见上表

刻蚀液成分:HCI:H2O:HNO3=50:50:3

刻蚀温度:60

2

热稳定性

Rt/R0250

TN型,STN型,HTN300℃,60分钟

Rt/R0110

TP150℃,60分钟(或按客户要求控制)

3

耐碱性

Rt/R0110

TN型,HTN型,STN型,TP-150型:10%(wtNaOH,60℃,5分钟,

TP400型:10%(wtNaOH,40℃,5分钟

4

耐酸性

Rt/R0110

6%(vHCI,25℃,2分钟

5

耐溶剂性

Rt/R0110

丙酮或酒精,25℃,5分钟

6

附着性

无掉膜

3M胶带粘玻璃,然后拉开

7

耐磨性

无开路

用橡皮1公斤力摩擦玻璃100

8

耐湿性

Rt/R0110

60℃,90RH,24小时

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