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SiO2膜层标准

序号

膜层指标

标准范围

测量方法

1

膜层厚度

250?

表面形貌仪

2

透过率

90

分光光度计

3

阻挡层性能

<10ug/dm2

夹具夹持96度煮48小时用原子吸收光谱法测量

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