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TP型质量标准

品级

面电阻(Ω/□)

面电阻不均匀性

透过率

刻蚀时间

膜层厚度

HTP400

400-600

Rmax-Rmin/2Avg16%(每片)

94%

30S

120?±30?

TP400

400-600

Rmax-Rmin/2Avg16%(每片)

89

30S

120?±30?

TP150

150

Rmax-Rmin/2Avg20%(每片)

87

30S

2000?±50?

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